微米级金属微球阵列定向沉积制备方法设备采购招标公告

2026-04-15

微米级金属微球阵列定向沉积制备方法
设备采购招标公告
（招标编号 ZJ20260415 ）

项目概况
本招标项目 “微米级金属微球阵列定向沉积制备方法” ，招标人为：深圳市中基自动化股份有限公司，招标项目的潜在投标人应发送资料至邮箱：lifei@sz-zhongji.com.cn 获取招标文件，并于2026年4月21日 18:00:00（北京时间）前递交投标文件。

1. 项目基本情况
项目编号：2024YFB3409002、2024YFB3409004
项目名称：微米级金属微球阵列定向沉积制备方法
预算金额：80.000000万元（人民币）
采购需求：

序号	设备名称	数量	简要技术需求（服务需求）	交货期
1	激光干涉仪	1	符合国家规定的产品质量要求及相关的技术指标+标准配置+技术培训（线性位移分辨率＜1nm，分辨率达到皮米级）	合同签订30天内
2	直线电机模组	4	符合国家规定的产品质量要求及相关的技术指标+标准配置+技术培训（重复定位精度＜0.1μm，分辨率＜0.03μm）	合同签订30天内
3	主动隔振系统	1	符合国家规定的产品质量要求及相关的技术指标+标准配置+技术培训（响应时间＜1ms，稳定时间＜0.01s）	合同签订30天内
4	光栅尺	6	符合国家规定的产品质量要求及相关的技术指标+标准配置+技术培训（分辨率＜5nm，最大允许测量误差＜0.1μm）	合同签订30天内
5	大理石基台	1	符合国家规定的产品质量要求及相关的技术指标+标准配置+技术培训（平面度需满足国标0级标准）	合同签订30天内
6	永磁预载结构	4	符合国家规定的产品质量要求及相关的技术指标+标准配置+技术培训（双向重复定位精度＜ ±0.05 µm，年衰减率＜ 0.03% ）	合同签订30天内
7	扫描振镜	1	符合国家规定的产品质量要求及相关的技术指标+标准配置+技术培训（精度＜2μrad，响应速度＜0.5ms）	合同签订30天内
8	水冷机	2	符合国家规定的产品质量要求及相关的技术指标+标准配置+技术培训	合同签订30天内
9	电器元件	1	符合国家规定的产品质量要求及相关的技术指标+标准配置+技术培训	合同签订30天内
10	排线、气管	5	符合国家规定的产品质量要求及相关的技术指标+标准配置	合同签订30天内
11	石英保护镜片	20	符合国家规定的产品质量要求及相关的技术指标+标准配置	合同签订30天内

本项目不需要投标保证金。

3.获取招标文件
时间：2026年4月15日 09:00:00至2026年4月21日 18:00:00（北京时间）
方式：联系招标方联系人获取。

4.投标文件的递交截止时间、开标时间
4.1 投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为 2026年4月21日18时00分；
地点：深圳市宝安区燕罗街道塘下涌三工业区桂花路1号A栋；
投标人应在截止时间前将投标文件电子版发送至lifei@sz-zhongji.com.cn邮箱。
4.2 逾期送达的、未送达指定地点的或者未密封的投标文件，招标人将予以拒收。
4.3 开标时间 2026年4月21日18时00分。

5.联系方式
联系人：李飞
电    话：13725537371
地    址：深圳市宝安区燕罗街道塘下涌三工业区桂花路1号
邮    箱：lifei@sz-zhongji.com.cn

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