近日,2024年度国家重点研发计划“高性能制造技术与重大装备”专项立项工作圆满结束。由深圳市中基自动化股份有限公司研究院院长王磊作为项目课题负责人参与的“微米级金属微球阵列定向沉积制备方法”项目成功获批。这是深圳中基首次参与并成功获批此专项国家级重点项目。国家重点研发计划是当前我国最高级别的研发项目,针对事关国计民生的重大社会公益性研究,以及事关产业核心竞争力、整体自主创新能力和国家安全的重大科学技术问题,突破国民经济和社会发展主要领域的技术瓶颈,2024年共启动82个国家重点研发计划。
此次入选的项目,由华南理工大学作为牵头单位,联合深圳市中基自动化股份有限公司、香港科技大学(广州)、中国科学院金属研究所、上海航天控制技术研究所等国内顶尖科研单位共同参与。项目的成功获批标志着深圳中基在高精密、智能化、自动化高端装备领域的研发实力和创新能力得到了国家层面的高度认可。未来,深圳中基将继续攻坚关键技术创新,打造自主可控的核心技术,助力我国高端制造装备产业解决“卡脖子”难题。
项目简介
随着微电子器件向微型化、高密度和集成化方向快速发展,金属微球阵列作为重要的电互连和机械支撑单元,其制备工艺的精度和效率直接影响器件的性能与可靠性。然而,现有的金属微球沉积技术,如植球法和喷射法等,在高精度、高密度微球阵列的制造方面能力有限,无法满足下一代高性能器件的封装需求。因此,本项目聚焦微米级金属微球阵列的高精度、高效率定向沉积技术,旨在突破半导体芯片封装中大面积高精度金属微球阵列制造的核心瓶颈。本项目拟提出一种无喷嘴约束的金属微球阵列定向沉积新方法,其优势在于能够实现大面积、高密度、高精度金属微球阵列的高效可控制造,从而显著提升半导体芯片器件的整体性能和可靠性。增强我国在微电子封装领域的核心竞争力,推动制造业向高附加值和创新驱动方向发展,具有显著的经济和社会效益。

项目负责人简介
王磊,博士,高级工程师,硕士生导师,深圳市中基自动化股份有限公司研究院院长,深圳市超大容量储能电池工程研究中心主任,主要从事激光加工技术及智能制造装备研究工作。主持和参与国家级科研项目6项,省部级科研项目7项,厅局级科研项目3项,发表学术论文30余篇,授权专利10项,参与制定团体标准2项,获得深圳市科技进步二等奖1项,中国发明协会“发明创业奖-项目奖”银奖1项,广东省制造业协会技术发明一等奖1项,广东省科技成果转化科技进步二等奖1项。
此次入选的项目,由华南理工大学作为牵头单位,联合深圳市中基自动化股份有限公司、香港科技大学(广州)、中国科学院金属研究所、上海航天控制技术研究所等国内顶尖科研单位共同参与。项目的成功获批标志着深圳中基在高精密、智能化、自动化高端装备领域的研发实力和创新能力得到了国家层面的高度认可。未来,深圳中基将继续攻坚关键技术创新,打造自主可控的核心技术,助力我国高端制造装备产业解决“卡脖子”难题。
项目简介
随着微电子器件向微型化、高密度和集成化方向快速发展,金属微球阵列作为重要的电互连和机械支撑单元,其制备工艺的精度和效率直接影响器件的性能与可靠性。然而,现有的金属微球沉积技术,如植球法和喷射法等,在高精度、高密度微球阵列的制造方面能力有限,无法满足下一代高性能器件的封装需求。因此,本项目聚焦微米级金属微球阵列的高精度、高效率定向沉积技术,旨在突破半导体芯片封装中大面积高精度金属微球阵列制造的核心瓶颈。本项目拟提出一种无喷嘴约束的金属微球阵列定向沉积新方法,其优势在于能够实现大面积、高密度、高精度金属微球阵列的高效可控制造,从而显著提升半导体芯片器件的整体性能和可靠性。增强我国在微电子封装领域的核心竞争力,推动制造业向高附加值和创新驱动方向发展,具有显著的经济和社会效益。

项目负责人简介
王磊,博士,高级工程师,硕士生导师,深圳市中基自动化股份有限公司研究院院长,深圳市超大容量储能电池工程研究中心主任,主要从事激光加工技术及智能制造装备研究工作。主持和参与国家级科研项目6项,省部级科研项目7项,厅局级科研项目3项,发表学术论文30余篇,授权专利10项,参与制定团体标准2项,获得深圳市科技进步二等奖1项,中国发明协会“发明创业奖-项目奖”银奖1项,广东省制造业协会技术发明一等奖1项,广东省科技成果转化科技进步二等奖1项。